ИЗУЧЕНИЕ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ПОЛИМЕРНЫХ МАТЕРИАЛОВ НА ОСНОВЕ ПРОИЗВОДНЫХ БЕНЗОЦИКЛОБУТЕНА

  • СВЕТЛАНА ЕВГЕНЬЕВНА БАЛАЧЕНКОВА Институт тонких химических технологий им. М.В. Ломоносова РТУ МИРЭА
  • ГРИГОРИЙ ЕВГЕНЬЕВИЧ АДАМОВ АО «ЦНИТИ «Техномаш»
  • КОНСТАНТИН СЕРГЕЕВИЧ ЛЕВЧЕНКО институт синтетических полимерных материалов им. Н.С. Ениколопова РАН
  • АНТОН ЮРЬЕВИЧ КАЛАШНИКОВ АО «Российские космические системы»
  • ПАВЕЛ СЕРГЕЕВИЧ ШМЕЛИН АО «ЦНИТИ «Техномаш»
  • ЕВГЕНИЙ ПЕТРОВИЧ ГРЕБЕННИКОВ АО «ЦНИТИ «Техномаш»
DOI: https://doi.org/10.6060/rcj.2020643.12
Ключевые слова: производные бензоциклобутена, диэлектрическая проницаемость, тангенс угла потерь

Аннотация

В рамках статьи исследованы диэлектрические характеристики полимерных пленок двух аллил-замещенных производных силанов с бензоциклобутеновым заместителем и их сополимеров с диметакрилатом триэтиленгликоля, введение которого придавало материалам способность к фотополимеризации. Полученные значения диэлектрической проницаемости (менее 2,9 на частоте 10 ГГц) и тангенса угла потерь (менее 3⋅10–3 на частоте 10 ГГц) делают разработанные материалы перспективными для применения в качестве диэлектрических покрытий в технологических процессах формирования компонентов электронных устройств.

Литература

Левченко К.С., Чудов К.А., Адамов Г.Е., Порошин

Н.О., Шмелин П.С., Гребенников Е.П., Паршиков

Ю.Г. Российский химический журнал. 2016. Т. LX. №4. С. 47–63.

Zhao X.-Y., Liu H.‐J. Polymer International. 2010. V. 59. I. 5. P. 597–606.

Cao K., Yang L., Huang Y., Chang G., Yang J. Polymer. 2014. V. 55. №. 22. P. 5680–5688.

URL: https://en.wikipedia.org/wiki/Benzocyclobutene

Levchenko K.S., Adamov E.G., Demin D.U., Chudov K.A., Bulanova A.V., Lyssenko K.A., Kalashnikov A.Yu.,

Shmelin P.S., Grebennikov E.P. Journal of Physics: Conference Series. 2019. V. 1347. P. 012030

Levchenko K.S. et al. New crosslinking monomer based on benzocyclobutene for microelectronics // in press.

Mills M.E., Townsend P., Castillo D., Martin S., Achen A. Microelectronic Engineering. 1997. V. 33.

I. 1–4. P. 327–334.

Опубликован
2020-12-25
Как цитировать
БАЛАЧЕНКОВА, С., АДАМОВ, Г., ЛЕВЧЕНКО, К., КАЛАШНИКОВ, А., ШМЕЛИН, П., & ГРЕБЕННИКОВ, Е. (2020). ИЗУЧЕНИЕ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ПОЛИМЕРНЫХ МАТЕРИАЛОВ НА ОСНОВЕ ПРОИЗВОДНЫХ БЕНЗОЦИКЛОБУТЕНА. Российский химический журнал, 64(3), 93-96. https://doi.org/10.6060/rcj.2020643.12
Выпуск
Том 64 № 3 (2020)
Раздел
Статьи

Наиболее читаемые статьи этого автора (авторов)